比較法

比較法測(cè)量簡便，使用于車間現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量，常用于中等或較粗糙表面的測(cè)量。方法是將被測(cè)量表面與標(biāo)有一定數(shù)值的粗糙度樣板比較來確定被測(cè)表面粗糙度數(shù)值的方法。 比較時(shí)可以采用的方法: Ra > 1.6μm 時(shí)用目測(cè)，Ra1.6~Ra0.4μm 時(shí)用放大鏡，Ra < 0.4μm 時(shí)用比較顯微鏡。

比較時(shí)要求樣板的加工方法，加工紋理，加工方向，材料與被測(cè)零件表面相同。

觸針法

利用針尖曲率半徑為2微米左右的金剛石觸針沿被測(cè)表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)放大、濾波、計(jì)算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可用記錄器記錄被測(cè)截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測(cè)量工具稱為表面粗糙度測(cè)量儀，同時(shí)能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀。這兩種測(cè)量工具都有電子計(jì)算電路或電子計(jì)算機(jī)，它能自動(dòng)計(jì)算出輪廓算術(shù)平均偏差Ra，微觀不平度十點(diǎn)高度Rz，輪廓最大高度Ry和其他多種評(píng)定參數(shù)，測(cè)量效率高，適用于測(cè)量Ra為0.025～6.3微米的表面粗糙度。

光切法

雙管顯微鏡測(cè)量表面粗糙度，可用作Ry與Rz參數(shù)評(píng)定，測(cè)量范圍0.5~50。

干涉法

利用光波干涉原理 (見平晶、激光測(cè)長技術(shù))將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高 (可達(dá)500倍)的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量，以得出被測(cè)表面粗糙度。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測(cè)量Rz和Ry為 0.025～0.8微米的表面粗糙度。